Томский госуниверситет систем управления и радиоэлектроники принимает участие в одном из важнейших событий сферы высоких технологий в России – форуме «Микроэлектроника 2026».
В рамках форума «Микроэлектроника 2026» проходит Школа молодых ученых, на которой заведующий лабораторией печатной электроники «Аддитив» Сергей Артищев выступит на секции, посвященной молодежным лабораториям. В своем докладе он расскажет о том, какой путь коллектив лаборатории «Аддитив» прошёл по разработке технологического оборудования и какие задачи решает сейчас.
Лаборатория печатной электроники была создана в ТУСУРе в 2022 году в рамках выполнения гранта по нацпроекту «Наука и университеты». На протяжении трех лет коллектив лаборатории разрабатывал технологию аддитивного изготовления толстопленочных интегральных схем. Главная особенность - использование принтера для нанесения особо вязких паст, используемых сейчас в промышленности для трафаретной технологии.
«Совместно с АО «НПЦ «Полюс» нами решалась задача по разработке технологического оборудования, которое позволит наносить такие пасты и тем самым обеспечить возможность прототипирования новых устройств методом печати без использования сетчатых и металлических трафаретов. Эта задача была решена. В 2024 году макет принтера прошел опытную эксплуатацию на производственном участке предприятия, сотрудники прошли обучение работе с макетом. На основе обратной связи мы составили план работы по модернизации оборудования», - рассказал заведующий лабораторией печатной электроники «Аддитив» Сергей Артищев.
От прототипа, который прошёл испытания на площадке промпатрнера университета, коллектив лаборатории перешел к работе над конструкцией, которая обеспечивает высокую точность позиционирования и определенные эргономические аспекты.
«Нам пригодились компетенции, полученные при выполнении проекта по созданию геномного принтера. Часть задач, связанных с точностью позиционирования и технические приемы, которые были там отработаны, мы сейчас используем в работе над принтером печатных плат», - рассказал Сергей Артищев.
Одна из задач, над которой сегодня работает коллектив лаборатории, связана с необходимостью обеспечивать возможность нанесения материалов на предыдущие слои при изготовлении многослойных печатных плат. Соответственно, принтер во время печати должен учитывать перепад высоты на керамическом основании.
«Учитывая необходимость изготовления многослойных структур, в которых пленки имеют толщину порядка 30 микрометров, перепад в 10-15 микрометров уже является критичным», - пояснил заведующий лабораторией.
На данный момент эта механическая часть конструкции принтера уже модернизирована. Ведется отработка технических решений для бесконтактного контроля расстояния от сопла дозатора до подложки. Также решается задача обеспечения контроля дефектности печати с помощью технического зрения. Это не только обеспечит возможность качественной многослойной печати, но и открывает перспективы нанесения паст на криволинейные поверхности.
«Сама по себе подложка может быть не плоская, а с различными выступами или даже сферической формы. Печать на таких криволинейных поверхностях можно использовать, например, чтобы наносить проводящий рисунок на поверхности корпуса. Помимо контроля зазора до поверхности необходимо обеспечить вращение самой детали, на которую наносится паста. Следует отметить, что в ТУСУРе ведется проект по нанесению материалов с помощью аэрозольной печати . Вероятно, комбинации двух видов нанесения материалов позволит обеспечить широкие возможности применения аддитивных технологий в электронике», - поделился перспективами работы Сергей Артищев.
Помимо модернизации оборудования решаются задачи обеспечения расширенной номенклатуры паст, используемых для принтерной печати.
«Сейчас рассматривается возможность создания диэлектрических паст с определенными значениями относительной диэлектрической проницаемости и тангенса угла диэлектрических потерь. Такие материалы позволят создавать устройства для СВЧ-техники и элементов сенсорики», - рассказывает Сергей Артищев.
Российский форум «Микроэлектроника 2026» проходит с 27 сентября по 3 октября 2026 года в Научно-технологическом университете «Сириус» (Федеральная территория «Сириус»). За последние годы Форум стал одним из важнейших событий сферы высоких технологий в России, местом, где на самом высоком уровне вырабатывается и уточняется стратегия обеспечения технологического суверенитета в сфере микро- и радиоэлектроники, обсуждаются ход реализации программ развития отрасли, меры государственной поддержки и повышения инвестиционной привлекательности, инструменты укрепления научно-исследовательских и производственных связей, тематика кадрового обеспечения развития отрасли и другие.
